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第1623章 超解析度光刻(2 / 4)

,小心翼翼地移开了那个黑色的圆柱形遮光罩。

平台上的景象瞬间一览无余。

「从光学模型上来说」常浩南指着暴露出来的核心区域,「是两块透镜,共同构成了这个突破极限的成像系统。」

栾文杰立刻凑近,几乎把脸贴到了光学平台上方,仔细端详着:

一块看似平平无奇、表面光洁的平面透镜。

以及,紧挨在它后面放置的一块……半透明的平板?

「就是它?」栾文杰指着那块平板,又看了看远处的成像屏。

「不不不……」常浩南摇头,「后面这个是成像平板,我说的另一块透镜,实际上是指这个系统中的气体。」

栾文杰似乎有点明白了:

「所以刚才的光,是先经过透镜照射到这块平板上成像,然后平板上的像……再被那个成像屏接收并显示出来?」

「正是如此。」常浩南点头赞许栾文杰的敏锐观察,「当然那个成像屏也可以阻挡光路,以免高强雷射束射出测试范围,对其它设备或者人造成影响。」

栾文杰下意识伸出手,想要在透镜和平板旁边比划一下。

但旋即想起这东西恐怕不能乱碰,于是又缩了回去问道:

「那为什幺要把成像平板紧贴着透镜放?」

「实际上是有缝隙的,大约1.5微米。」常浩南用手势比划了一个极其微小的距离,「只是肉眼难以分辨罢了。」

他戴上特制的防静电手套,极其小心地取下了那块位于透镜和平板之间的核心平板——那才是真正的成像元件。

然后,开始回答对方最开始的问题。

「衍射极限之所以存在,根本原因在于传统透镜无法将光聚焦到一个小于半波长的区域。」

常浩南将那块特殊的平板捏手中,展示到栾文杰面前:

「但我们的思路是,让光线在一组折射率绝对值相等但符号相反的材料界面上发生『负折射』。」

他指向透镜和手中的平板:

「具体说,就是让从目标物体上发散出来的光线,在我们这块由负折射率材料制成的平板上实现聚焦,理论上就能绕过衍射极限的束缚,真正实现完美成像。」

说话间,目光扫过屏幕上那不太清晰的173nm解析度靶标图案。

于是又补充道:

「当然,实际操作中,材料的虚部损耗和界面阻抗不匹配的问题会引入损耗,影响倏逝波的

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